原理：利用炉中的石墨电极和石墨低电阻体通电加热，形成高温气氛，使加入的三氧化硅经过还原反应生成多晶硅。
技术优势：优化底盘硅芯分布，增加硅芯数量，提高单台产量；优化还原炉内流场分布，使反应速率稳定进行，硅芯表面反应速率一致；优化还原炉内温度场分布，提高热效率，降低热损失。